第126章改良方案

计划归计划，该拆的设备还是得拆。

不过康驰也不用把它拆得非常零散，只需要把几个模块给分开就行了。

反正这玩意拆了外壳，谁也不认不出是什么东西。

由于工作量比较大，康驰只能在东阳又多停留了一周，

同时在拆解休息的时候，他还抽空看了看常春光所的EUV设计图，把图纸都给吃透得差不多了。

在光刻机的EUV光源中，有两个相对成熟可靠的方案，即DPP和LPP方案。

这两个方案，其实原理都是差不多的，就是利用锡转换成等离子体的过程中，可以释放出极紫外光，

区别只是DPP是用电击锡来激活，LPP是用激光二次打击锡液激活。

按照华国的一贯风格，自然是啥都要试试，

所以目前这两个方案，分别由常春光所、魔都光所负责研发。

其中魔都光所的LPP方案，进展其实是最快的，据说功率已经达到了188W，转换效率为3.7%，基本能够进入实用化了。

但LPP方案中所需的脉冲大功率二氧化碳激光器，依然没有攻克，目前只有M国和岛国能够生产，和EUV光刻机一样有钱也买不到。

所以虽然阿斯麦的EUV光刻机，用的就是这个方案，算是给华国指明了方向，但因为专利壁垒和禁售，挑战反而更大。

反观DPP方案，则可以避开专利壁垒，同时它的前景也更大，因为它是直接将电能转化为等离子体能，光源结构简单，随着技术成熟相对容易提升功率，

如果能把同步辐射光源的加速器小型化，那么DPP方案也将会有更大的应用前景。

这也是康驰选择常春光所DPP方案的主要原因。

在吃透了常春光所的图纸，并分析出了他们目前遇到的困难和技术缺陷后，康驰又花了几天的时间，对这套方案进行了改良设计，然后把硬盘交给了陈海，让他安排人送到常春去。

当何永收到硬盘，得知康驰已经对方案完成了改良设计后，忍不住掏出手机，确认了一下日期。

“这才过了十天，你确定他把图纸看明白了？”

负责送图纸的赖庆雷摇了摇头：“抱歉，我只是个送图纸的，技术层面的东西我也不知道，不过我觉得康博士应该不至于开这种低级玩笑。”

“是吗？”何永冷笑道，“我怎么觉得他老爱开玩笑。”

接过硬盘后，何永也忍不住立刻回到办公室，好奇地打开里面的图纸，想看看康驰所谓的改良方案是真是假。

打开第一张整体结构图，何永一眼就看出，这和他们原本的设计有很大的区别。

所以，他真对设计图进行了改良？

而从消化图纸，到完成改良设计，他仅仅只用了十天？！

先不说改良的方案到底行不行，光是这个效率，就让何永感到有些难以置信。

短暂的惊讶过后，何永便把设计图放大，仔细分析起了里面的改变，眉头也逐渐开始皱了起来。

“磁场约束？”

看着包裹着两个电极的麻花状线条，何永总感觉似乎在哪里看过类似的设计结构……

没看出什么名堂的何永，试着根据康驰在整体结构图上的注解，找到了这个麻花状的详细分解图。

然后他顿时就瞪大了眼睛。

他终于知道自己在哪，看过类似的结构了。

这是……

仿星器！

这结构，太像可控核聚变的重要技术路线——仿星器的磁场环了！

开什么玩笑？！

我们这是在造EUV光源，不是搞核聚变的！

就算你把仿星器设计出来了，是凭我们就能造出来的吗？！

何永看到这张图的第一眼，只觉得这太离谱了，

但多看两眼之后，他很快就发现，它虽然像仿星器，但实际上却和仿星器还是有比较大的区别。

仿星器的设计，是个完美的闭环磁场，而这个显然是个开环，结构也相对简单很多。

何永又看了看这张图的技术说明，很快就理解了康驰这套改良方案，具体的原理是什么。

在DPP-EUV方案中，最大的问题，就是在电离锡的时候，会产生大量的锡碎屑，

这些碎屑温度极高，很容易腐蚀、污染电极和设备，

尤其是收集光线的反射镜，

一旦受损，收集光线的效率就会直线降低。

所以康驰就用了一个类似仿星器的磁约束原理，制造一股无形的‘风’，把这些电离过程中产生的锡碎屑，沿着设计好的磁场路线吹出去。

想法是很好，但这可能实现吗？

先不说这个强磁场能不能造出来，就算造出来了，这么强的磁场，会不会对设备的其它部件，造成干扰影响？

而且除了这个磁场清理碎屑的改良点，何永在接下来，还发现了康驰另外一个更疯狂的改良。

锡本来应该涂抹在电极上的，

但康驰直接在电极中间加了个喷嘴，把锡加热到2260度，变成气体喷出去！

原理其实和燃油发动机有点像，喷油嘴喷油，然后火花塞点火，

区别只是一个燃烧膨胀作功，一个电离发光。

这么做有个好处，就是能够解决重频放电的光源稳定性，同时很容易增大光源功率。

但这一切的前提，都是那个像仿星器的磁场设计，到底行不行。

如果这套磁场设计不行的话，锡气一喷，整个装置就毁了。

想到这里，何永立即召开了一场技术研讨会，直接在会议上公布了康驰的改良方案。

当看到康驰的方案，并听完何永的讲解后，整个会议室顿时就陷入了很长一段时间的沉默。

所有人都被这个大胆而疯狂的方案给震住了。

而何永也给了他们充足的时间，来消化这些信息。

过了足足三分钟，才终于有人开口问道：“这……能行吗？”

“我也不知道。”何永看了众人一眼，

“从理论上来说，这确实是一个方向，但具体能不能实现，得先对这个设计理论进行模拟验证……老廖，磁场这块你比较擅长，所以磁场分析就交给伱了。”

被点到名的廖远点了点头：“给我两天时间。”

何永随即又把目光，放在了另一位五十多岁的老者身上：“老许，你过来先仔细研究一下设计图，看看有多少把握造能造出来。”

随后何永便把位置让了出来。

老许对着电脑，研究了大概半个多小时的图纸，最后才点头道：“应该没太大问题。”

“这虽然看着像仿星器，但实际上它的要求没这么苛刻，仿星器需要控制的是核聚变，不但对磁力要求特别大，还得不能有丝毫的偏差，但这个只需要大概控制住磁场的走向，设备精度要求低一些，体积也不算大。”

何永听完顿时就放心了，

接下来，就等设计理论模拟验证的结果了。


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